扫描电镜的成像其实是利用细聚焦高能电子束在样件表面激发各种物理信号，如二次电子、背散射电子等，通过相应的检测器来检测这些信号，信号的强度与样品表面形貌有一定的对应关系，因此，可将其转换为视频信号来调制显像管的亮度得到样品表面形貌的图像。下面我们来介绍下扫描电镜日常维护的10个要点。

    扫描电镜的日常维护

    1、保持仪器操作台面整洁，不允许身体倚靠，冻水机等装置不可放置重物；

    2、开机时一定要先开水冷系统,并要检查冷却水的温度，关机至少15分钟后才能关闭冷却水；

    3、进样品时,检查Z轴和T轴的位置、缓缓关闭样品室,确保进样仓门彻底关闭,才可点击EVAC按钮抽气；

    4、移动样品，通过配合移动StageDriver将载物台向X轴和Y轴方向移动，从而移动样品，并保证小于最大允许值；

    5、倾斜样品，-10°~+45°，要十分当心，不要撞坏探头。要根据样品台和样品状况选择倾斜角度，注样品可倾斜的最大安全角度必须小于允许值，防止样品撞伤物镜极靴；

    6、用BSE探头时不可倾斜样品台；

    7、样品只有在加速电压关闭的情况下才可取出，不作样品扫描时要关闭高压；

    8、放气时HT必须处于关闭状态，必须等待120秒后才可轻轻拉开样品交换仓的门；

    9、更换钨灯丝时，等待两分钟时间，然后打开电子枪，用专门的器具取出钨灯丝连同钨灯丝罩，以免被烫伤；

    10、扫描电镜需要手动调节的部分主要有光阑,象散，工作距离调节的旋钮等，其他部件不允许调整；

    11、每周加两到三次液氮，两次间隔不超过四天。

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