扫描电子显微镜是继透射电镜之后发展起来的一种电子显微镜简称扫描电镜。它是将电子束聚焦后以扫描的方式作用样品，产生一些列物理信息，收集其中的二次电子、背散射电子等信息，经处理后获得样品表面形貌的放大图像。

扫描电子显微镜的特点：

1、分辨本领强。其分辨率可达1nm以下，介于光学显微镜的极限分辨率（200nm）和投射电镜的分辨率（0.1nm）之间。

2、有效放大倍率高。光学显微镜的最大有效放大率为1000倍左右，透射电镜为几百到80万，而扫描电镜可从数十到20万，聚焦后，无需重新聚焦。

3、景深大。其景深比透射电镜高一个量级，可直接观察断口形貌、松散粉体，图像立体感强；改变电子束的入射角度，对统一视野可立体观察和分析。

4、制样简单。对于金属制样，可直接观察，也可抛光、腐蚀后再观察；对陶瓷、高分子等不导电试样，需在真空镀膜机中镀一层金膜后再进行观察。

5、电子损伤小。电子束直径一般为3-几十纳米，强度约为10-9到10-11mA，远小于透射电镜的电子束能量，加速电压可以小到0.5KV，且电子束在试样上是动态扫描，并不固定，因此电子损伤小，污染轻，尤为适合高分子试样。

6、实现综合分析。扫描电镜中可以同时组装其他观察仪器，如波谱仪、能谱仪等，实现对试样的表面形貌、微区成分等方面的同步分析。