和光学显微镜及透射电镜相比，扫描电镜具有以下特点：

    (一)能够直接观察样品表面的结构，样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。

    (二)样品制备过程简单，不用切成薄片。

    (三)样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转，因此，可以从各种角度对样品进行观察。

    (四)景深大，图象富有立体感。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍，比透射电镜大几十倍。

    (五)图象的放大范围广，分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍，它基本上包括了从放大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间，可达3nm。

    (六)电子束对样品的损伤与污染程度较小。

    (七)在观察形貌的同时，还可利用从样品发出的其他信号作微区成分分析。

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