日立扫描电镜如今被广泛的使用于各类材料的形态结构、界面状况、损伤机制及材料性能测试等领域的研究。仪器主要由七大系统组成，即电子光学系统、信号探测处理和显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统。其中重要的三个系统是电子光学系统、信号探测处理和显示系统以及真空系统。

    日立扫描电镜的日常维护：

    1、保持日立扫描电镜操作台面整洁，不允许身体倚靠，冻水机等装置不可放置重物；

    2、开机时一定要先开水冷系统,并要检查冷却水的温度，关机至少15分钟后才能关闭冷却水；

    3、进样品时,检查Z轴和T轴的位置、缓缓关闭样品室,确保进样仓门彻底关闭,才可点击EVAC按钮抽气；

    4、移动样品，通过配合移动StageDriver将载物台向X轴和Y轴方向移动，从而移动样品，并保证小于大允许值；

    5、倾斜样品，-10°~+45°，要十分当心，不要撞坏探头。要根据样品台和样品状况选择倾斜角度，注样品可倾斜的大安全角度必须小于允许值，防止样品撞伤物镜极靴；

    6、用BSE探头时不可倾斜样品台；

    7、样品只有在加速电压关闭的情况下才可取出，不作样品扫描时要关闭高压；

    8、放气时HT必须处于关闭状态，必须等待120秒后才可轻轻拉开样品交换仓的门；

    9、更换钨灯丝时，等待两分钟时间，然后打开电子枪，用专门的器具取出钨灯丝连同钨灯丝罩，以免被烫伤；

    10、日立扫描电镜需要手动调节的部分主要有光阑,象散，工作距离调节的旋钮等，其他部件不允许调整；

    11、每周加两到三次液氮，两次间隔不超过四天。

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